三坐標測量機是由主機、測量頭及電子電器系統三個主要部分組成。
  主機包括機座、立柱、懸臂、導軌及驅動裝置、標尺系統、平衡部件、工作臺及附件等部分。其中標尺系統更為重要，它決定測量機的精度。